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日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設(shè)備 M-351PG 特點介紹
該型號使用Ni絲來提高耐腐蝕性，并與RIE和CVD等硬工藝設(shè)備兼容。
半導體、電子器件制造設(shè)備、
干式蝕刻設(shè)備、等離子體CVD設(shè)備、LD-CVD設(shè)備等
食品藥品制造設(shè)備
真空冷凍干燥、真空蒸餾設(shè)備、滅菌設(shè)備等。
日本Anelva皮拉尼真空計耐腐蝕性半導體設(shè)備 M-351PG 規(guī)格參數(shù)
型號名稱M-351PG-SP
（鎳絲規(guī)格）（帶設(shè)定點型）
測量壓力范圍5×10 -2 ～ 1×10 5 (Pa)
精度（帕）±50%：5×10 -2 ～ 1×10 -1
±15%：1×10 -1 ～ 1×10 4
±50%：1×10 4 ～ 1×10 5
再現(xiàn)性±2%：1×10 -1 ～ 1×10 4 Pa
輸入電壓直流+14～30V
能量消耗2W
模擬輸出0-10V
表計識別電阻值13 KΩ（D-sub 引腳 5 和 9 之間）
設(shè)定點2 個接點輸出（1 A 30 V，DC）
界面-
輸入/輸出連接器D-sub9針
最大電纜長度兼容200 m (0.34 mm 2 ) *1
工作溫度限制5～60℃
儲存溫度范圍-20 至 70°C（非工作）
烘烤溫度＜+150 ℃（O型圈規(guī)格，僅測頭）
＜＋300 ℃（金屬密封規(guī)格，僅測頭）
允許過載壓力1 MPa（僅限于接頭形狀NPT、僅限于惰性氣體、絕壓）
兼容的皮拉尼傳感器型號名稱MP-2
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