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日本technomu高精度非接觸式平面度測量裝置 TFL2100 特點介紹
使用激光位移傳感器，在旋轉工件的同時，以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件以2D和3D方式顯示數據進行分析。
被測量的物體可以從薄到厚，從輕到重。
日本technomu高精度非接觸式平面度測量裝置 TFL2100 規格參數
? 以低成本實現高精度測量
? 快速數據采集
? 由于是非接觸式，因此無需擔心損壞測試對象。
? 被測物體的影響很小
? 能夠測量重物
? 底座采用石質平臺，旋轉軸采用氣動主軸，實現驚人的表面跳動精度。
? 照片中的設備外徑為800Φ，可承載重達200kg的工件。
? 我們將根據工件制作測量臺等（請咨詢我們）。
? 測量面積：2英寸至12英寸以上
? 測量方式：旋轉掃描法
? 可用的激光位移計：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
規格10mm±1mm三角測距式半導體激光器650nm可見光CLAS10.3mW0.01μm（注1）±45mmX=380mm（MAX）Y=400 mm（MAX）2μm/STEP100mm/SEC10μm以內±2μm以內5μm以內360°0.0036/STEP10rpm（測定速度）φ600（可搭載工件φ800）200Kg10μm以內5μm以下（φ600圓周上）PC/AT兼容機5相微步進驅動器USB1.1/2.0約W433 H140×D255 7Kg以下5000數據/轉速20（MAX）PC軟件平面度測量專用程序
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