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日本technomu翹曲測(cè)量機(jī)XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 特點(diǎn)介紹
使用激光位移傳感器，將工件固定
，在傳感器移動(dòng)的同時(shí)，
以非接觸方式高精度測(cè)量工件表面高度方向的位移量，并
通過下式計(jì)算翹曲量：專用軟件。
待測(cè)量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。
這是自動(dòng)判定作品合格與否的檢查機(jī)。
日本technomu翹曲測(cè)量機(jī)XY軸門型非接觸式 TCS2100/TCS3100 規(guī)格參數(shù)
? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
? 高速XY平臺(tái)，數(shù)據(jù)采集速度快
? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測(cè)試對(duì)象。
? 被測(cè)物體的影響很小
? 可以測(cè)量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體
? 底座采用石材面板，可最大限度地減少老化。
? 多種測(cè)量模式快速測(cè)量
? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動(dòng)判斷OK或NG。
? 我們將根據(jù)工件制作測(cè)量臺(tái)等（請(qǐng)咨詢我們）。
? 測(cè)量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求
? 測(cè)量方式：XY掃描法
? 可用的激光位移計(jì)：三角測(cè)量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸
? 分辨率：~0.001μm（最大）
芯片的彎曲度測(cè)量不銹鋼、鈦、鋁、鐵板等金屬板的翹曲測(cè)量磨削加工品的翹曲測(cè)量樹脂成型品、橡膠加工品等翹曲測(cè)定主要適用于方形的測(cè)量對(duì)象物
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