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日本hamai潔凈規格不銹鋼隔膜閥精密拋光 FSC-55LN 特點介紹
標準FS-55LN型號高純氣體隔膜閥，具有高清潔度和清潔規格。
結構采用經過驗證的55L型，閥體與氣體接觸部分經過內部精密拋光（1S以下）。通過對包括 kerep 在內的所有氣體接觸部件使用拋光部件，我們實現了無顆粒操作。
最后的清洗是在潔凈室中使用超純水進行的，從組裝到檢查的所有過程均按照基于高壓氣體安全法（部分氣體除外）的嚴格制造標準進行。
日本hamai潔凈規格不銹鋼隔膜閥精密拋光 FSC-55LN 規格參數
?作為高純度氣體（半導體特殊材料氣體）在很多情況下使用的FS-55LN的高凈化、潔凈規格型號。
-本體采用SUS316L不銹鋼材料。
?閥體的氣體接觸部分進行精密的內部研磨（1S以下）。
?所有與氣體接觸的金屬材料均采用 Kelep 等拋光材料制成，以確保無顆粒性能。
- 手柄打開/關閉操作輕便、平穩。容器內壓14.7MPa，可通過手動操作關閉。
?壓縮氣體閥的參考Cv值為0.3。
- 從磷化氫、砷化氫等特殊原料氣體到高純度氦氣、高純度氯氣、氨氣等液化氣體，我們都能處理。
?使用氦檢漏儀測量所有泄漏（內部泄漏、外部泄漏）。
- 壓蓋部分配備防止振動導致松動的機構。
?還有可在加油口內安裝節流孔的類型。
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