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日本進(jìn)口shibaura多離子計檢測儀氣壓測量 GMi 系列 特點介紹
廣域測量可測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5～ 5×10 -8 Pa）（同時使用GPM和GAM時）
可以連接具有不同測量范圍的測頭。使用
多離子計可以讓您根據(jù)應(yīng)用選擇測頭。
準(zhǔn)確的氣壓測量
可以輕松準(zhǔn)確地確認(rèn)氣壓（使用GAM時）
對環(huán)境影響低
只需根據(jù)需要更換探頭即可，降低運(yùn)行成本。
提高可視性
配備 LED，可讓您檢查異常情況
可維護(hù)性
易于更換探頭
各模式規(guī)格（組合模式）
GMi+GPM（離子計+皮拉尼計）
GMi+GPM+GAM（離子計+皮拉尼計+大氣壓傳感器）
測量值輸出信號
壓力為0～10V輸出（Log輸出）
可輸出 3 個控制輸出信號
設(shè)定點 (GMi-1)
串行通信規(guī)格
可進(jìn)行RS232C/RS485通信(GMi-2)
日本進(jìn)口shibaura多離子計檢測儀氣壓測量 GMi 系列 規(guī)格參數(shù)
模型GMi-1GMi-2
規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 串行通訊規(guī)格
適應(yīng)性強(qiáng)的多離子規(guī)傳感器M34 (NW16), M35 (NW25)
可連接傳感器 多離子壓力計 傳感器：1 個
皮拉尼壓力計 GPM：1 個（可選）
大氣壓力傳感器 GAM：1 個（可選）
采樣時間70 ms 4次移動平均處理
測量值輸出輸出電壓 DC 0 至 10 V，Log 輸出 0.75 V / 1 位
壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P - 2) P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 }
*對于設(shè)定點調(diào)節(jié) 兼作輸出電源（僅限 GMi-1）
更新時間50毫秒
控制輸入信號FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
采用集電極開路輸入、負(fù)邏輯操作*FIL ON/OFF 信號的使用方法因模式而異。 -
控制輸出信號傳感器錯誤，設(shè)定點 1/2/3
發(fā)射有效
燈絲功率監(jiān)控
額定值：24 VMAX、50 mAMAX、
飽和電壓 1 V -
串行通訊規(guī)格- RS232C/RS485
LED顯示屏POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
FIL：發(fā)射有效 LED
SET1：設(shè)定值 1 LED
SET2：設(shè)定值 2 LED
SET3：設(shè)定值 3 LED -
發(fā)射電流1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA
脫氣電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V
傳感器耐壓2×10 5 Pa（絕對壓力） *必須單獨考慮法蘭、卡箍等的耐壓能力。
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