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當前位置:深圳秋山工業設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L21SS/L21SH/L21SS-CO日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3千-6千 |
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應用領域 | 環保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 特點介紹
L21系列是專為使用高壓半導體工藝制造氣體而設計的產品?;窘Y構為外部金屬密封和焊接接頭,基本性能較L20系列有所提高。
該產品具有優異的外漏和顆粒性能,是氣缸柜的理想選擇。
■壓力表連接接頭的尺寸和形狀為1/4"面密封接頭的雄性為標準。
·入口出口接頭的種類尺寸和形狀(雄性、雌性)的組合可從產品編號表中顯示的組合中進行選擇。
■UJR®、VCR®、CVC®以外的接頭的面間尺寸可能與標準面間尺寸不同。
日本YUTAKA高壓流量計壓力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 規格參數
入口壓力14.8MPa以下(最大24MPa)
調節壓力Max.0.99MPa
(范圍規格:0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa)
氣源壓力波動進口壓力:每0.1MPa,調節壓力變化0.0005MPa以下
承受壓力31.5MPa(入口側)、1.5MPa(調節側)
CV值0.09
工作溫度-10~+40℃
外漏1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
內部容積4.75cm(3個壓力表,不含接頭) 4.75cm(3個壓力表,不含接頭)
大量的約1.4公斤
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