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日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機 STM-06 的特點介紹
手動手柄和秤允許在固定位置進行測量。
通過真空吸附將晶圓固定在平臺上。防止測量造成的劃傷。
測量數據以 EXCEL 文件形式保存在連接的計算機上。
測量結果顯示在PC上，方便查看。
還可根據要求提供地圖顯示等。
日本JUSTEM晶圓檢測/測量設備手動測厚機 STM-06 的特點介紹
| 目標工作 | 硅（硅） |
|---|---|
| 工作尺寸 | φ4、5、6英寸 |
| 工作厚度 | 80 至 1,500μm |
| 設備類型 | 桌面型 |
| 安裝環境 | 1000級 |
| 設備尺寸 | 寬426×深548×高323（毫米） |
| 設備重量 | 70公斤 |
| 電源電壓 | 單相100V 50/60Hz 共用 |
| 真空 | -50KPa |
| 測量傳感器 | 色差共焦傳感器 |
| 測量精度 | 重復10次 標準偏差0.1μm以下 |
| 測量點 | 任意多點測量 |
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