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日本進(jìn)口YUTAKA半導(dǎo)體用壓力控制設(shè)備高純度氣體用調(diào)節(jié)器L20系列
L20系列是專為高壓半導(dǎo)體工藝制造氣體而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。基本結(jié)構(gòu)是外部金屬密封和焊接接頭，使其成為具有優(yōu)異的外部泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。此外，我們還提供多種選擇來(lái)容納各種高純度氣體，使其成為氣瓶柜的理想選擇。
功能高壓
焊接規(guī)范金屬墊片配件調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)針型兼容氣體7種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體有毒氣體
以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量～60NL/分鐘
入口壓力 14.8MPa以下（最大19.6MPa）
調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa
（范圍規(guī)格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00021MPa
承受壓力 22.2MPa（進(jìn)口側(cè)）
CV值 0.09
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內(nèi)部容積 4.67cm（不含3個(gè)壓力表及接頭）
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