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超環面光柵單色器，采用像差校正超環面光柵進行衍射分光，可以在較寬光譜范圍內保證高的光譜分辨和光通量。 通過選配不同的光柵型號，可以實現10-300nm范圍的光譜覆蓋。超環面光柵單色器可應用于強場與高能量密度物理、半導體與集成電路制造、探測器&光源計量級標定和極紫外反射率研究。
主要參數：
● 波?范圍：10~300nm
● 低像散
● ?真空兼容，10-4 Pa，超?真空可定制，10-7 Pa
● 具有5μm~300μm在線連續可調狹縫
● 單光學元件設計，結構簡單，效率?
● 具備遠程激光快速瞄準定位功能
● 光譜分辨率：0.1nm@37.93nm，可根據需求優化
選配范圍：
測試數據：
應用領域：
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