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?分辨平場(chǎng)光譜儀，采?全息凹球?變線距光柵進(jìn)?分光，具有平場(chǎng)特性，便于使??陣CCD記錄光譜。光柵?作在掠?射模式下，衍射效率?，同時(shí)通過(guò)選?不同的光柵型號(hào)，可以實(shí)現(xiàn)波?范圍1~30nm的全覆蓋。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、高光譜分辨

2、在線精密可調(diào)狹縫

3、遠(yuǎn)程激光瞄準(zhǔn)定位

4、結(jié)構(gòu)緊湊集成度高

5、高真空兼容性

主要參數(shù)：

· 光源類型：凹面變距光柵               · 波長(zhǎng)范圍：1~30nm(選配)

· 探測(cè)器類型：科研級(jí)相機(jī)               · 高真空兼容:5x10⁵Pa

· 光譜分辨率：2500@6nm/3000@30nm（可根據(jù)需求優(yōu)化）

· 在線連續(xù)可調(diào)狹縫：5μm~300μm

選配范圍：

光柵參數(shù)：

應(yīng)用領(lǐng)域：

· 強(qiáng)場(chǎng)與高能量密度物理

· 半導(dǎo)體與集成電路制造

· 探測(cè)器、光源計(jì)量級(jí)標(biāo)定