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產(chǎn)品分類品牌分類

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SKSATO佐藤: 電阻 PH計(jì) 折光儀糖度儀水分儀雨量計(jì) 顯示器記錄儀風(fēng)速計(jì) 溫度計(jì)

SR ENGINEER瑞安: 接頭夾具夾工具開關(guān) 閥門配件液壓動力裝置

GREISINGER格雷: 氣壓計(jì) 一氧化碳計(jì) 氧濃度計(jì) 酸度計(jì) 電導(dǎo)率儀水分計(jì)

SONIC索尼克

SEN日森

DKK-TOA東亞電波

KETT凱特

KYOWA共和

MUSASHI武藏

SUGIYAMA杉山電機(jī)

CCS希希愛視

TORAY東麗

MIYUKI美幸輝

KYOWA協(xié)和工業(yè)

AS ONE亞速旺

SIBATA柴田科學(xué)

YAMADA雅瑪達(dá)

IIJIMA飯島電子

TOKI SANGYO東機(jī)

ASAHI-SPECTRA朝日分光

IEDA家田

NIPPON GEAR齒輪工業(yè)

ISHIKAWA石川

MAGNESCALE索尼

IHARA伊原電子

NARISHIGE成茂

SHIZUOKA靜岡

TOYOX東洋克斯

TASETO塔賽特

CHROMA科諾瑪

VENN桃太郎

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產(chǎn)品簡介詳細(xì)介紹

最大 300 mm的晶圓厚度測厚儀，自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

長處

映射涂層測厚儀能夠在最大 300 mm 的晶圓的所有表面上自動映射膜厚測量。自動對位功能和使用具有高平整度的晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)可靠的薄膜厚度測量。此外，它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以在保持清潔度的同時管理制造設(shè)備上的薄膜厚度。

1
能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個表面進(jìn)行自動涂層厚度映射測量

2
自動對位功能

通過自動檢測缺口和無花柱位置，以及自動檢測晶圓偏心率，實(shí)現(xiàn)高精度測量。

3
通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性

4
可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。

5
透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動

6
一體化節(jié)省空間的設(shè)計(jì)

測量數(shù)據(jù)示例（2D 膜厚分布）層壓晶圓的硅
厚度（nm）
測量數(shù)據(jù)示例（3D 薄膜厚度分布）層壓晶圓的硅厚度
（nm）
測量數(shù)據(jù)示例（薄膜厚度的頻率分布）層壓晶圓中的硅厚度
測量數(shù)據(jù)示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）5 個晶圓的膜厚分布趨勢

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長處

能夠?qū)ψ畲?300 mm 的晶圓的整個表面進(jìn)行自動涂層厚度映射測量

自動對位功能

通過使用具有高平整度的晶圓卡盤，提高晶圓表面的測量可靠性

可根據(jù)應(yīng)用選擇三種類型的光源。

透明蓋，便于在測量過程中查看運(yùn)動

一體化節(jié)省空間的設(shè)計(jì)

測量數(shù)據(jù)示例（2D 膜厚分布）層壓晶圓的硅
厚度（nm）

測量數(shù)據(jù)示例（3D 薄膜厚度分布）層壓晶圓的硅厚度
（nm）

測量數(shù)據(jù)示例（薄膜厚度的頻率分布）層壓晶圓中的硅厚度

測量數(shù)據(jù)示例（多個晶圓的膜厚分布箱線圖）5 個晶圓的膜厚分布趨勢

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