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使用微型反射探頭測厚儀日本SHASHIN
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更新時間:2024-11-02 15:11:11

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使用微型反射探頭測厚儀日本SHASHIN,反射涂層厚度監測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀,它使用微型反射探頭,可應用于從實驗室級別到生產過程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護性,可用于集成到工藝設備和生產線管理應用中

反射涂層厚度監測儀是一種光學干涉反射光譜涂層測厚儀,它使用微型反射探頭,可應用于從實驗室級別到生產過程中的在線檢查的所有情況。 它具有出色的可維護性,可用于集成到工藝設備和生產線管理應用中。
最多可同時測量 9 種類型的透明膜。
它具有出色的可維護性,可用作工藝設備或生產線管理應用的集成。
例如,在沉積、拋光和蝕刻過程中,它可以用作在線監視器或終點監視器(終點檢測傳感器),從而實現薄膜厚度的實時監控(實時監控)。
它還可用于評估多晶硅的結晶度多孔薄膜的密度。

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測量數據示例

測定スペクトルと膜厚短期再現性の例



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