日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵
'低溫泵（型號：LR）
'“型號：LR"泵旨在縮短負載鎖定、PVD 工藝等的抽氣時間。
日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵
日本ULVAC愛發科多級羅茨式干式真空泵
特征
'低溫泵（型號：LR）
'“型號：LR"泵旨在縮短負載鎖定、PVD 工藝等的抽氣時間。
出色的氦氣泵送能力
屏蔽電機，安全且易于維護
斷電保護
泵可承受長達 500 毫秒的電源中斷。
優異的耐腐蝕性氣體（型號：HR/UR）
內部部件經過特殊處理，具有高度的表面硬度和耐腐蝕性。這可以防止泵內部部件在暴露于腐蝕性氣體時磨損和腐蝕。
通信功能
可以導出包括警告和警報在內的泵數據。提供廣泛的泵控制。
應用
濺射設備、氣相沉積設備等
縮短負載鎖室的抽氣時間
用于渦輪分子泵和機械增壓泵的前級泵
規格
| 型 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 | LR421 系列 | LR421-T |
最大
抽速
| 50 赫茲 | 62 米3/h
（1030 升/分鐘） | 112 米3/h
（1860 升/分鐘） | 183 米3/h
（3100 升/分鐘） | 440 米3/h
（7333 升/分鐘） | 440 米3/h
（7333 升/分鐘） |
| 60 赫茲 | 80 米3/h
（1333 升/分鐘） | 126 米3/h
（2100 升/分鐘） | 237 米3/h
（3950 升/分鐘） |
| 極限壓力 | 5.0 帕 |
| 最大入口壓力 | 氣壓 |
| 最大排氣壓力 | 1.0 至 Atmosphere Pressure Pa |
| 入口直徑（CE 型） | VG50（KF50） 系列 | VG80型 （KF50） | VG100 系列 |
| 出口直徑 | 肯氟烴40 | VG50 系列 |
| 重量 | 180 千克 | 245 千克 | 335 千克 | 415 千克 |
| 功率 *1 | 三
相 | 200 VAC（50/60 赫茲）、220 VAC（60 赫茲） | 180~240 伏交流電/380~440 伏交流電（50/60 赫茲） |
| 當前 | 在極限
壓力下 | 6.9 A
（200V 時） | 11.2 A
（200V 時） | 18.9 A
（200V 時） | 20.8 A
（200V 時） |
在最大
負載時 | 7.3 A
（200V 時） | 11.8 A
（200V 時） | 20.6 A
（200V 時） | 48.5 A
（200V 時） |
冷卻水
供氣壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa |
冷卻水進/出
差壓力 | >0.1 MPa | >0.2 MPa |
| 冷卻水流量 | >5.0 升/分鐘 | >4.0 升/分鐘 |
| N2 氣體 | 供氣
壓力 | 0.1~0.5 MPa |
調節
壓力 | 0.05~0.1 MPa |
| N2 吹掃 | 軸吹掃 | 5 SLM |
| 氣鎮 | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM |
化工儀器網