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應用領域	農林牧漁,地礦,能源,建材/家具,電子/電池	序列號	176.0755.4908.

新款ULVAC愛發科螺桿型干式真空泵 MS1200A

特點

通過對轉子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設計的底座軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

目的

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統LS系列的基礎上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設計

規格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
最大排氣速度	m³/h	120		380		600		1000
到達壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
最大水蒸氣處理量 *3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質量	kg	142		220		242		266
適用規格		CE、cTUVus
標準附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器
本體選配件		電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號)、 Gas purge