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池田屋實業(深圳)有限公司
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池田屋HORIBA堀場 多功能控制單元

參   考   價: 8432

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協議為準

產品型號PE-S7

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-08-07 16:03:00瀏覽次數:266次

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應用領域 農林牧漁,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 訂貨號 176.0755.4908.
池田屋HORIBA堀場 多功能控制單元
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內高速響應
全量程(T98)
尺寸緊湊,

池田屋HORIBA堀場 多功能控制單元

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隨著半導體制造薄膜沉積工藝中微細加工的進步,處理后保持腔室清潔對于提高生產率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點檢測監視器,可實時監測廢氣成分(SiF4、CF4)。通過優化干洗終點檢測、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞,有助于延長零件的使用壽命。

寬廣的流量控制范圍,從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執行

高精度:±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數字校正功能,實現設定點精度

全流量范圍快速響應:1秒內完成全量程

配備多氣體/多量程功能,

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內(上升、下降、設定值到設定值)響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環境溫度范圍廣(15-60℃)

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

級別,

尺寸僅為其他公司的 1/20,傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分,具有的結構,盡管其尺寸最小,但仍實現了高靈敏度。

低真空(高壓)操作

當測量總壓力高達 0.5 Pa(對于 2-65 m/z 傳感器)時,無需準備額外的差壓泵系統。

用戶可更換的傳感器

校準過濾器可以在現場輕松更換,無需拆卸設備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的,可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。

















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