ULVAC 愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
ULVAC 愛發科 熱陰極電離真空計 傳感器型
這是 "G-TRAN系列復合電離真空計"的新型號，可以實現不同的測量范圍。作為三極管電離真空計，該產品不易發生靈敏度下降，即使在真空計的惡劣環境下，也能實現更長時間、更精確的真空測量。在保留以往高壽命、低運行成本理念的基礎上，進行了改進，更加人性化。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
規格
| 型號 | ST200-A | ST200-R | ST200-E | |
| 規格 | 標準規格 | 串口通信規格 | EtherCAT規格 | |
| 適應多離子傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| 可以連接的傳感器 | 多離子傳感器：1本 皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選） 大其他傳感器SAU：1本（可選） | |||
| 測量精度（N2） | ST200本體模式：±2％ | |||
| 取樣時間 | 60ms 5回 移動平均処理 | |||
| 測定値出力 | 出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} | |||
| 更新時間 | 60msec | |||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 | - | - | |
| 制御出力信號 | 傳感器錯誤，設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V | - | - | |
| 串行通信規格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
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