ULVAC 愛發科 皮拉尼真空計 日本供應
ULVAC 愛發科 皮拉尼真空計 日本供應
特點
測量范圍：可以進行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高：具有高抗沖擊性的結構設計（
優異的大氣壓精度：無論真空計的安裝位置如何，精度均在±20％以內
燈絲材料·鉑（Pt）：由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高：配備可確認異常的LED
一觸式調整：一鍵式即可進行大氣壓力調整和零點調整
維護：更換測定子更輕松
適用測定子擴展：除了NW16 / 25規格外，還將Φ15/ 18規格，拼接法蘭規格和錐形螺絲R1 / 8規格添加到產品陣容中
用途
太陽能電池?FPD?半導體?電子部件等各種制造設備
用于設備的低真空領域的工藝控制
用于爐等各種工業設備的低真空領域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設備的低真空領域的工藝控制
用于有振動?沖擊的各種真空排氣系統
規格
| 模型 | SW1-1 | SW1-2 |
| 可連接的傳感器頭 | 1個 | |
| 兼容的傳感器頭 | SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25)、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（φ18）、SWP-P15（φ15）、SWP-CF16（ICF034）、SWP-1S（ ASME BPE衛生級1"） | |
| 可測量壓力范圍 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa (顯示范圍：1.0×10 -2 ~ 1.2×10 +5 Pa) | |
| 準確性* | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa ： ±10% | |
| 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa：±20% | ||
| 重復性 | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±2% | |
| 采樣時間 | 50ms 5次移動平均處理 | |
| 價值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V | |
| 壓力指示 (Log) 1.7V 至 8.0V 1V/十倍頻 | ||
| （更新時間）50ms | ||
| 控制輸入信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 | - |
| ADJ調整（零點、氣氛調整） | - | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出，負邏輯[額定值：30VMAX、50mAMAX、70mW] | - |
| 錯誤信號 | - | |
| 設定點 1、2 | - | |
| 監控設定值 | 設定點 1、2：0 至 10V 日志輸出 | - |
| 串行通訊類型 | - | RS232C/RS485 |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源錯誤 LED | |
| SET-1：設定點 1LED | - | |
| SET-2：設定點 2LED | - | |
| 燈絲材質 | 鉑 | |
| 工作溫度范圍 | 10～40℃ | |
| 工作濕度范圍 | 15 ~ 80% (不凝結) | |
| 防護等級 | IP30（傳感器單元） | |
| 固定位置 | 自由的 | |
| 電源電壓 | DC18V ~ 30V, 2W (4.8W 帶電源輸入) | |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15 針（M2.6mm 螺絲）- 側面傳感器單元 | |
| 重量 | 150克（含SWP-16） | |
| 尺寸（電源）W×D×H | 70毫米×46毫米×28毫米 | |
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