XITON PHOTONICS-激光系統-IXION 193 SLM

產品型號：IXION 193 SLM

產品介紹：XITON PHOTONICS是泵浦固態激光器與非線性光學器件的專家。XITON PHOTONICS開發并制造了幾乎任何所需波長的可靠激光系統，波長范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國的全球運營公司，擁有超過15年的經驗。IXION 193 SLM是一種單頻全固態激光系統，用于光學計量、193nm步進光學器件的校準或高功率ArF 帶寬控制等應用。該系統的波長可在185至194nm之間的范圍內定制，并且可以在購買時預先配置為固定波長。作為一種選擇，將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統中。這允許大限度地控制激光器的光譜調諧。

性能特點：

可靠性

參數：

產地：德國

波長：193.368 nm

平均功率：10mW

脈沖持續時間：典型值8-12 ns

每脈沖能量：1.6µJ

重復頻率：1-15 kHz

光束質量：M2<1.6

頻譜帶寬：＜80 MHz

光譜可調諧性：>10pm

相干長度：>2 m

脈沖對脈沖刺入.：σ<2.5%