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UNECS-1500M-ULVA精品高速光譜 橢偏儀
UNECS-1500M-ULVA精品高速光譜 橢偏儀

地:日本

貨物所在地:廣東深圳市

更新時間:2025/3/1 11:45:10

訪問次數:45

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供應簡介
ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量


詳細介紹

ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀

ULVAC愛發科 精品 手動 高速光譜 橢偏儀



UNECS系列是一款光譜橢偏儀,可高速、高精度測量薄膜的厚度和折射率。采用測量方法,實現高速測量和緊湊化。我們提供廣泛的產品陣容,以適應不同的應用,包括便攜式類型、自動平臺類型和與真空環境兼容的內置類型。

UNECS-1500M配備了易于操作的手動R-θ平臺,兼容φ150mm,使測量定位變得容易。

用途

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蝕劑、ITO等)的膜厚、折射率、消光系數的測量

特征

高速測量:

采用快照方式,實現了最高速度20ms的高速測量。

兼容可見光譜:

波長范圍可選擇標準型(530nm~750nm)和可見光譜型(380nm~760nm)。

緊湊的傳感器單元:

光發射/接收傳感器僅由光學元件組成,沒有旋轉機構,并且非常輕便和緊湊,并且不需要定期維護。

豐富的產品陣容:

我們擁有可適應各種應用的產品陣容,包括便攜式類型、手動/自動平臺類型、大型基板類型以及與大氣/真空環境兼容的內置類型。

規格

波長范圍530~750nm、380~760nm(任選其一)
光斑直徑φ1mm、φ0.3mm(任選其一)
入射角度70o固定
膜厚再現性1σ = 0.1nm
膜厚范圍1nm?2μm
測量時間受光:20ms ? 3000ms 演算:300ms
階段φ150mm手動R-θ平臺
控制電腦筆記本型(帶操作/分析軟件)
機器構成測量主體(帶手動載物臺、控制箱)、
光源裝置、操作電腦(筆記本電腦型)、使用說明書(CD)



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