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池田屋實業(深圳)有限公司
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產品介紹
池田屋現貨！！富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋現貨??！富士金FUJIKIN 數控閥 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流體控制設備制造商，其產品廣泛應用于半導體、光伏、科研等領域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能數字控制閥（數控閥），專為高精度氣體流量控制設計，適用于嚴苛的工業環境。
1. 主要特點
高精度控制：流量控制精度可達 ±1% FS（滿量程），適用于微流量調節。
快速響應：開關時間 毫秒級（通常20-50ms），適合高速工藝需求。
耐腐蝕材料：閥體通常采用不銹鋼（SUS316L），密封材料可選氟橡膠（FKM）、EPDM等，適用于腐蝕性氣體（如HCl、Cl?、NH?等）。
數字信號控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信協議（具體取決于配置），或模擬信號（4-20mA/0-5V）輸入。
緊湊設計：體積小，適合高密度安裝，節省設備空間。
高可靠性：適用于7×24小時連續運行，壽命長，維護需求低。
2. 典型應用
半導體制造：用于CVD（化學氣相沉積）、蝕刻、離子注入等工藝的氣體流量控制。
光伏行業：在薄膜太陽能電池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特種氣體。
實驗室設備：如氣相色譜（GC）、質譜儀（MS）等需要高精度流量控制的場景。
3. 技術參數（示例，具體以數據為準）
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 型號 | FPR-PSD-21-6.35UGC#B |
| 接口尺寸 | 6.35mm（1/4英寸） |
| 閥體材質 | SUS316L（標準） |
| 密封材料 | 氟橡膠（FKM）或其他可選 |
| 工作壓力 | 0.1~0.7 MPa（可定制更高壓力） |
| 流量范圍 | 0~50 SLM（標準氮氣，可定制） |
| 控制信號 | 數字（RS-485/EtherCAT）或模擬（4-20mA/0-5V） |
| 響應時間 | ≤50ms（全開→全關） |
| 重復精度 | ±1% FS |
| 環境溫度 | 0~50°C（可定制高溫/低溫版本） |
| 認證 | CE、SEMI（部分型號符合半導體行業標準） |
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