目錄:普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司>>半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列>>chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列>> Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。主要部件均采用國際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
3
化工儀器網(wǎng)