日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規格
| 使用流體 | CO2 |
| 使用壓力 | 14MPa |
| 使用溫度 | 40℃ |
| 腔室 | 內徑φ110×26mm |
| 安全功能 | 電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護 |
| 控制面板 | 采用觸摸屏進行運轉程序設定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 約60kg |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
日本 rexxam清洗?干燥裝置 臺式型SCRD4
清洗?干燥裝置是使用不會產生毛細管力?表面張力的超臨界流體，可使超微細構件得到清洗?干燥且不會造成變形或破壞。
用途
1.連采用IPA（異丙醇）干燥都會受損的、具有超微細結構的晶圓。
2.具有縱橫比較大的MEMS等微細結構的晶圓。
3.硅氣凝膠那樣具有納米量級極細空間的材料制備。
4.加入添加劑、抗蝕劑等的溶解去除、剝離等。
規格
| 使用流體 | CO2 |
| 使用壓力 | 14MPa |
| 使用溫度 | 40℃ |
| 腔室 | 內徑φ110×26mm |
| 安全功能 | 電氣安全裝置、機械安全裝置、防過熱保護 |
| 控制面板 | 采用觸摸屏進行運轉程序設定 |
| 外形尺寸 | （W）600×（D）450×（H）400mm（含手柄） |
| 重量 | 約60kg |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 10A |
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