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vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導體制造中是至關重要的。在上游和下游過程中，所有的閥門功能必須保證在大量的循環中具有精確的重復性。其結果是：在規定的時間間隔內精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設定了標準。
技術參數：
尺寸
DN 25 (1")
驅動器
步進電機
材料
鋁
法蘭
ISO-KF
控制器配置
SPS
控制器接口+感應器
RS232接口/2個感應器
低壓力
1 × 10-8 mbar
最高壓力
1.2 bar (abs)
泄漏率
1 × 10-9 ls-1
循環直到第一次維修
2 000 000
最高溫度閥體
≤ 150 °C
密封
FKM
閘門上的壓差
≤ 1 bar
典型的關閉或開放時間
90 ms
最小可控電導率(N2分子流)
0.15 ls-1
最大電導率(N2分子流)
22 ls-1
重量
2.2 kg / 4.85 lbs
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAH-0001
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