微量氧分析儀是一種用來進行氧氣成分分析檢驗的工具，借助它能得到某些成分種類和含量的數據。采用電化學或者氧化鋯對生產過程中氧氣進行精度的測量分析。微處理器對傳感器的信號進行放大處理并清晰顯示以及進行 4-20mA或其他方式傳送到其他控制系統中，保證了生產過程對氧氣的準確控制。使用方便、可靠、維護簡單。
工作原理是利用電化學傳感器或紅外傳感器測量氧氣的濃度。電化學傳感器通過電流的變化來測量氧氣的濃度，而紅外傳感器則通過紅外線的吸收來測量氧氣的濃度。這些傳感器具有高精度、高靈敏度和快速響應的特點，能夠準確地測量氧氣的含量。
微量氧分析儀使用的范圍比較廣：鋼鐵、冶金、熱電、石化、化工、焦化、PVC、多晶硅、合成氨等行業均能使用到，其中分類如下：
①空分制氧、空分制氮、化工流程氧含量自動分析
② 電子行業保護性氣體中氧含量分析，如：氮氣中微量氧測試
③ 磁性材料等高溫燒結爐的保護性氣體中氧含量分析
④ 玻璃、建材行業中氧含量分析及各種行業中氧含量分析
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