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當前位置：武漢辰龍天和科技有限公司>>高精度光譜共焦>> 光譜共焦位移傳感器LT-C4000N探頭
| 參考距離：14.5mm |
| 測量范圍：±2mm |
| 光斑直徑：Φ12μm |
| 測量角度：±21° |
| 靜態噪聲*2：160nm |
| 線性誤差：＜±0.8μm |
| 橫向分辨率：6μm |
| 外徑*長度：φ32*159mm |
| 重量：238g |
| 最小可測厚度：5% of F.S. |
| 溫度特征：＜0.03% of F.S./℃ |
| 防護等級：IP40 |
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