光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列

更小的測量盲區

更高精度的尺寸及位移復現能力

高靈敏度光學非接觸測量

多膜層/多層玻璃測厚能力

同軸式測量配置，避免了激光三角傳感器的角度限制，縮小測量盲區，

適合復雜細微結構（如深溝槽結構等）的測量。

針對光譜共焦位移傳感器研制開發的HC-CC物鏡采用近十片鏡片，能夠實現最小10微米的成像光斑，同時提高測量線性精度。

針對光譜共焦位移傳感器定制開發的雜散光抑制優化光譜儀以及高亮度彩色激光光源，都能夠大幅提高傳感器的測量靈敏度，能夠對表面返回的極弱的光強（如薄膜等透明物體）完成測量。

光譜共焦傳感器適合各種材料的測量，并能確保對不同材料的測量性能，同時支持多膜層/膠合玻璃的多層厚度測量。

抗干擾模塊化探頭

光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列安裝于測量現場的探頭是純光學器件，通過光纖與控制器連接