玻氏壓頭有稱之為三菱錐壓頭，和一般的維氏、洛氏以及布氏壓頭不同，針對一些材料我們需要用到玻氏壓頭來進行測量。玻氏硬度值在材料屬性中常被廣泛使用。

納米壓痕測試技術作為一種測量薄膜材料力學性能的方法，以其高度的位移分辨率、超低載荷及連續測量能力也倍受青睞。Berkovich壓頭的納米壓痕測試過程，通過對有限元計算數據的處理，對比分析不同壓頭下測試出的材料硬度值和載荷一位移曲線，從而得到測量結果。

硬度是評價材料力學性能的一-個重要強度指標，已有近百年的歷史5。從其變形機理.上可定義為“抵抗材料變形，塑性變形和破壞的能力”或“材料抵抗殘余變形和破壞的能力”。在測量固體材料的硬度時，總是將一定形狀 和尺寸的較硬物體即壓頭以一定的壓力接觸被測材料表面。硬度測量，不僅與材料的彈性模量，屈服強度，抗拉強度等力學性能有關，而且還與測量儀器本身的測量條件有密切關系，所以硬度本身并不是一個物理量，而是材料局部區域力學性能在特定條件下的整體表現。它是材料對外界物體機械作用的局部抵抗能力的--種表現，反映了固體物質凝聚或結合強弱的程度。作為材料重要的機械性能指標，硬度在材料應用，材料分析與研究領域中經常被考慮，要想獲得材料的硬度指標，必須經過硬度試驗進行測定，硬度測試方法不同，硬度測量值不一樣，并且一般不能進行直接比較。、

納米壓痕技術測量得多的材料力學性能是硬度和彈性模量，采集完整的加載卸載數據后進行分析，得出壓頭與被測材料的接觸面積，就可以測得彈性模量與硬度。