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1、目 的
本試驗測試潔凈臺在正常運轉下是否能達到潔凈度的要求。
2、儀器
塵埃粒子計數器(粒徑分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采樣速度為2.83L/min。
3、方法
潔凈度的檢測方法按以下步驟進行：
a) 將潔凈臺的氣流流速設置為生產廠商規定的zuidi值，并將玻璃窗開啟到生產廠商規定的最高 值，雙面操作的潔凈臺應將兩面的玻璃窗都開啟到生產廠商規定的最高值，無玻璃窗操作口的潔凈臺可直接檢測；
b) 生產廠商在工作臺面向上200mm,測試區域邊界與潔凈臺的內壁及操作口的距離應為100mm;
c) 除在測試區域四個角布置采樣點外，還需在測試區域內沿中心線平均布點，測試區域內的采樣 點數目不得少于5個；
d) 每個采樣點的采樣次數不得少于3次，每次采樣量應不小于5.66 L;
e) 粒子計數器的采樣口應正對氣流方向。
潔凈臺工作區≥0.5μm塵埃粒子數應≤3520個/m3,≥5μm塵埃粒子數應≤29個 注：即潔凈ISO等級5(100級)。
