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真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板

產品特點：

l 配置硬質陽極氧化鋁耐腐蝕加熱面板

l 加熱面板均勻性好，溫控精度高，不易變形，耐腐蝕，同時具有升溫迅速，程序段控溫，控溫精準等優點

l 7寸全彩觸摸屏，高級工業PLC控制，可實現自動升降，定時取片

l 可以設置頂針高度，實現無接觸式烤膠

l 可實現在真空或氮氣環境下的各種樣品加熱實驗

真空加熱臺頂升烤膠機恒溫加熱板

技術參數：

1.加熱面板尺寸：220*220mm（可支持最大8寸晶圓）

2.外形尺寸：長380X寬440X高440mm 真空腔體內部尺寸：長270*寬270*高170mm

3.加熱面板材質：陽極氧化鋁合金

4.控溫范圍：室溫-160℃,溫度分辨率：0.1℃ 溫度均勻性：±1%℃   控溫精度：±0.1 ℃ （溫度恒定時）

5.電動頂針調節高度:  0-30mm  頂升方式：自動或手動

6.支持定時升降，可儲存6組程序配方，每組配方30個加熱階段

7.最大真空度：0.1MPa

9.電源輸入：220V   1000W    

10.支持 4  6 7 8 寸基片限位

實物圖片如下：