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一、氣體純化器提純設備用質量流量計及控制器 產品介紹：
◆熱式原理，響應快，精度高
◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高
◆兼具模擬量及數字量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機、PLC控制、流量顯示控制儀。
二、應用列舉：
玻璃行業 / 太陽能 / 氫能 / 大氣監測 / 工業制作 / 石油石化
煤炭冶金 / 制氣配氣 / 環保 / 各種儀器分析 / 氣體純化提純
二、氣體純化器提純設備用質量流量計及控制器 技術參數：
| 量程范圍 | 100SCCM～3000SLM |
| 測控范圍 | 量程比100:1 |
| 準確度 | ±1%F.S |
| 線性 | ±0.5%F.S |
| 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | <0.8s |
| 數字量 | RS232/485，MODBUS協議 |
| 模擬量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供電 | ±15VDC，24VDC |
| 工作溫度 | 0～50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓降：<0.01Mpa |
| 最大耐壓 | 3MPa/10MPa |
| 電氣連接 | DB15孔 |
| 漏率 | 1×10-9SCCSHe |
| 溫度系數 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材質 | 不銹鋼 |
| 密封材質 | 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，全氟醚等 |
| 接頭 | φ3，φ6，1/4", φ12，1/2"等，卡套、VCR、法蘭安裝等 |
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