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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>AE Cesar Series>> AE CESAR 0230AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W
AE 高頻射頻電源 CESAR 2730 RF Generator
射頻電源 Cesar 1330 13.56MHz 3000W
射頻電源 Cesar 1320 13.56MHz 2000W
射頻電源 Cesar 1312 13.56MHz 1200W
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 60200055 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | CESAR?0230 |
| M/N | 60200055 | 頻率 | 2MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurbished |
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是經過現場驗證的具有可靠性能和穩定輸出能力的優秀射頻發生器，在實機驗證中體現出了優秀的工藝穩定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，廣泛應用在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優秀表現。Cesar 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質量好的優點，在一定程度上能夠提升產線效率和成品良率，具有十分廣泛的應用。
AE 射頻電源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 參數規格：
設備品牌：AE(Advanced Energy)
設別型號：Cesar 0230
AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200V~ ，50/60Hz，20.0A
RF 射頻輸出：3000W，~615V，2MHz
通訊接口：RS-232，User Port，Matchbox，Diagnostic
設備散熱：風冷+水冷散熱
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