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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>AE Paramount Series>> AE Paramount MF 15002AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 31550302-064 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | AE | 型號 | Paramount?MF?15002 |
| M/N | 31550302-064 | P/M | 660-144976-004-H |
| 頻率 | 1.8-2.17MHz | 輸出功率 | 15KW |
| 設備狀態 | Refurbished |
AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經過現場長期驗證的具有穩定輸出能力和控制能力的高性能射頻電源，在實際運行過程中展現出了優良的工藝穩定性。AE Paramount 系列射頻電源具有優秀的成膜能力，廣泛應用在半導體薄膜工藝中，該型射頻電源成膜速度快，效率高，能夠在一定程度上提高產線效率和產品良率。MF 15002射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻工藝中存在較多應用和良好表現。
AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 參數規格
設備品牌：AE（Advanced Energy）
設備型號：Paramount MF 15002
AC 電源輸入：3 phase~ +PE，200~208V，50/60Hz，70A
RF 射頻輸出：15KW，1.8~2.17MHz，＜1000Vrms
通訊接口：Sync In/Out，CEX In/Out，Match，User，Serial，ENET
設備散熱：水冷散熱
水冷進水需求：MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa
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