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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>MKS Spectrum Series>> MKS Spectrum B-5002MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | B-5002-02 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | Spectrum?B-5002 |
| M/N | B-5002-02 | P/N | 0190-15320 |
| 頻率 | 1.8-2.17MHz? | 輸出功率 | 5000W |
| 設備狀態 | Refurbished |
MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 是經過現場長期驗證的具有優良性能和高可靠性的射頻發生器，在實際運用中展現出了優秀的工藝穩定性和控制能力。MKS Spectrum系列射頻電源廣泛應用在半導體制程中的薄膜工藝中，該系列射頻電源的優良成膜能力使其在CVD、PECVD、濺射等制程工藝中成膜速度快，能夠提升產線效率，此外其精準的射頻控制能力對產線產品良率提升也有一定的幫助。
MKS 射頻電源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz 5000W RF Generator 參數規格
設備品牌：MKS
設備型號：Spectrum B-5002
AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz
RF 射頻輸出：1.8~2.17MHz，5KW
通訊接口：RS-232C Interface，POD Interface，External Interlock
設備散熱：風冷+水冷散熱
水冷進水水溫：MAX 35℃
水冷進水流量：MIN 2 GAL/min（7.6 L/min）
水冷進水水壓：MAX 60PSI（414kPa）
設備重量：25.9kg（57lbs）
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