AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator是經過現場長期驗證的具有優良工藝穩定性和控制能力的高性能射頻電源。AE RFG 系列射頻電源具有優良的成膜能力，成膜速度快，被廣泛應用在CVD、PVD、PECVD等半導體制程薄膜工藝中。該型號射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制，能夠減少損耗提高能源效益，一定程度上可以提高產線效率和產品良率。設備整體采用緊湊型的設計風格，小巧緊湊，占用空間小，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 1251 13.56MHz 1250W RF Generator 參數規格

設備品牌：AE（Advanced Energy）

設備型號：RFG 1251                                                                                                                                          

AC 電源輸入：3 phase~/PE，~208V，50/60Hz，2.4kW

RF 射頻輸出：13.56MHz，250V~，1250W

通信接口：Control，CEX In/Out

設備散熱：水冷散熱

水冷進水要求：MAX進水水壓 5.17Bar/517kPa