DAIHEN 射頻網絡匹配器 RMN-50P RF Matching Box 是一款經過機臺長期驗證的性能穩定，具有高可靠性的射頻阻抗網絡匹配器。DAIHEN RMN系列射頻匹配器響應速度快，匹配精度高，能夠有效地將射頻傳輸至負載點，反射低損耗小，能源效益高，能夠對等離子工藝進行高性能，高可靠性和精確控制。

DAIHEN 射頻網絡匹配器 RMN-50P 參數規格

設備品牌：DAIHEN

設備型號：RMN-50P

AC 電源輸入：100V~200V，1 phase~，1.5A，50/60Hz

輸入功率：5000W（Max）

RF射頻頻率：13.56MHz                             

整合精度：1% or less （Power Ratio）^*1

整合速度：3秒以內

通信接口：Monitor，Display，RS-232C，HV（24V），Relay

散熱：水冷+風冷

設備尺寸：410 * 388 * 174 mm

設備重量：15kg

DAIHEN RMN-50P RF Matching Box 特點

1.優化定制設計適應用戶負載阻抗和機械接口

2.優秀的“預測與校正"算法實現高速、準確的自動調優

3.可編程用戶參數集（最多8組）