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富士工業 高精度單成分濃度計
超聲波液體濃度計
FUD-1Model-130系列CMP用
測量原理
超聲波在液體中非常易于傳播。
超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。
「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」
本產品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度。
測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示
單組分密度計的特點
Model-130是一個概念模型，強調了所測量濃度的穩定性，
在需要高精度和高穩定性密度計側的半導體制造過程中非常有效。
可以高精度連續測量
免維護，無需定期調整/校準
易于安裝，因為在安裝過程中無需進行任何調整
通過實時輸出輕松反饋到過程
Model-130是重視測量濃度穩定性的概念模型
半導體制造工序等的高精度·高穩定濃度計方面被認為是必要的。
高精度連續計測可能
無需定期調整、校對，無需維護
設置時的各種調整等不需要也非常容易設置
實時輸出的工程的反饋也容易
用途
在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等
稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2·TMAH·HNO3·H2SO4·HCI等在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF·NH4OH·KOH·PA等；蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF·H2S04等。
富士工業 高精度單成分濃度計
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