本溪市2噸工業半導體超純水設備方案

一、核心工藝設計

1. 預處理系統

• 多介質過濾器：去除懸浮物、膠體、鐵銹等雜質（精度≥5μm）。

• 活性炭過濾器：吸附余氯、有機物，防止RO膜氧化。

• 軟化器（可選）：降低鈣鎂離子濃度，防止RO結垢（原水硬度較高時必選）。

2. 反滲透（RO）系統

• 高壓泵：316L不銹鋼材質，提供RO膜運行壓力（1.0-1.5MPa）。

• RO膜組：陶氏BW30-400IG DRY或同類膜，脫鹽率≥99%，產水2噸/小時。

• 回收率：60-75%（根據原水TDS調整）。

3. 后處理精制單元

• 電去離子（EDI）裝置：連續去除殘余離子，出水電阻率≥15MΩ·cm。

• 拋光混床：核級混床樹脂，進一步降低電導率至≥18.2MΩ·cm。

• 紫外線殺菌器：254nm波長，滅殺微生物，防止儲水箱二次污染。

• TOC去除裝置（可選）：UV氧化或活性炭吸附，控制總有機碳＜5ppb。

4. 儲存與分配系統

• PVDF/316L不銹鋼儲水箱：帶氮氣保護或循環系統，避免CO?吸收。

• 超純水分配管道：316L不銹鋼+UF過濾器，多點監測電阻率（＞18.2MΩ·cm）。

二、設備技術參數

三、出水水質標準

• 電阻率：≥18.2MΩ·cm（25°C）

• 顆粒物：＜10ppt（＞0.2μm）

• 微生物：＜1CFU/mL（UV+EDI抑制生物膜）

• 金屬離子：Na?＜10ppb，Fe?3＜1ppb，Cu2?＜0.1ppb

• TOC：＜5ppb（可選＜10ppb）

四、設備成本與運行費用

1. 初期投資：

• 基礎版（RO+EDI+拋光混床）：約30-40萬元（含自動控系統）14。

• 高配版（含TOC控制+氮氣保護）：約45-60萬元5。

2. 運行成本：

• RO膜：3-5年更換，約5-8萬元/套；

• EDI模塊：5-8年更換，約10-15萬元/套；

• 拋光樹脂：1-2年更換，約2-5萬元/次。

• 能耗：約2-3元/噸（電費+泵耗）14。

• 耗材：

• 總成本：約5-8元/噸（含折舊）14。

五、合規與認證

1. 遵循標準：

• 國際：SEMI F57（半導體超純水標準）、ASTM D5127（TOC檢測）5；

• 中國：電子級超純水國家標準（GB/T 11446.1）。

2. 驗證文件：

• DQ（設計確認）、IQ（安裝確認）、OQ（運行確認）、PQ（性能確認）

本溪市2噸工業半導體超純水設備需結合RO+EDI+拋光混床+UV工藝，選用PVDF/316L材質，配套全自動控制系統，確保水質符合SEMI F57標準。