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1.氣體供應系統：外部的壓縮空氣源通過管道連接到探針臺的氣路系統。為保證氣體質量，可能會先經過過濾裝置，去除其中的雜質、水分和油污等，防止這些污染物進入探針臺內部影響降溫效果或損壞設備。同時，會配備壓力調節裝置，將壓縮空氣的壓力調整到合適范圍，以滿足探針臺的工作要求。

2.氣冷盤等冷卻部件：在探針臺的關鍵發熱部位，如樣品臺或卡盤下方，設置有氣冷盤。氣冷盤內部通常設計有復雜的氣道結構。壓縮空氣進入氣冷盤后，會沿著這些氣道均勻分布，然后通過氣冷盤上的出氣槽或小孔，以一定的流速和角度吹出，形成均勻的冷空氣流，直接作用于需要降溫的部位，如樣品或探針，帶走熱量。

3.溫度控制系統：為了精確控制降溫的程度和穩定性，高低溫探針臺配備有溫度傳感器，實時監測樣品臺或關鍵部位的溫度。溫度傳感器將溫度信號反饋給控制器，控制器根據預設的溫度值與實際測量值的差異，自動調節壓縮空氣的流量或壓力。例如，當溫度高于設定值時，增加壓縮空氣流量以增強降溫效果；反之，則減少流量，使溫度保持在設定的范圍內。

4.循環與回收系統：部分先進的高低溫探針臺還會設計有氣體循環與回收系統。吹出的空氣在完成降溫任務后，通過特定的通道被收集起來，經過處理（如過濾、除濕等）后，再次送入氣冷系統進行循環利用。這樣可以提高能源利用效率，減少壓縮空氣的消耗，同時也有助于維持工作環境的穩定性。

5.腔室密封與防護：為了防止外部熱空氣進入和內部冷空氣泄漏，探針臺的工作腔室通常具有良好的密封性能。同時，可能會采用隔熱材料對腔室進行包裹，減少熱量的傳遞，進一步提高降溫效果和溫度控制的精度，還能有效隔絕外部的空氣，防止大量的水蒸氣液化形成滴露，形成干燥的工作環境。