13333022079
當前位置：河北恒儀電子科技有限公司>>輸送系統>> Mini ODS美國TeledyneAPI緊湊型高純度臭氧輸送系統
產品名稱: 緊湊型高純度臭氧輸送系統
型號系列:Mini ODS
品牌:Teledyne API
產地:美國
價格:**終成交價格需聯系客服
訂貨號:Mini ODS
美國TeledyneAPI緊湊型高純度臭氧輸送系統Mini ODS介紹：
ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求**的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合*，操作簡單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動，插入即可使用。
該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
美國TeledyneAPI緊湊型高純度臭氧輸送系統Mini ODS特點：
高純度水冷臭氧發生器，可生產濃度高達350 g/Nm3的臭氧
*的高濃度監測儀
使用質量流量控制器監測和控制臭氧和進料氣
完整的安全聯鎖和EMO系統
支持**多四個獨立的伺服控制回路
19英寸機架固定，頂端配有排氣系統，底端配有輪子
ODS - 氧氣輸送系統具有多功能性，且安裝使用簡單，已經廣泛應用在需求不同濃度、流量的薄片處理應用中，例如:半導體,化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化.
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
以上信息由企業自行提供，信息內容的真實性、準確性和合法性由相關企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
溫馨提示：為規避購買風險，建議您在購買產品前務必確認供應商資質及產品質量。
化工儀器網