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激光平直度測試儀G600基本原理信息

時間:2025/6/12閱讀:125
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儀器基本原理

核心部件:PSD(Position Sensitive Detector),由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻組成,能測量光點在測量面上的連續位置變化,與 CCD 探測器相比,具有位置分辨率高、光譜響應寬、響應速度快等優點

測量原理:以激光束為直線基準,在空氣中沿理想直線傳播,通過 PSD 接收器測得被測對象表面或運動機構的位置偏移量,再由測量軟件根據各測量點偏移量計算得到各項參數。

功能與性能

- 測量功能:可測量直線度、平行度、垂直度、平面度、軸線偏移等,能同時測量高低和水平兩個方向,支持公差帶顯示、分段評價、數據比較,實時繪制誤差曲線圖,采用端點法、最小二乘、最小區域等算法。

產品特色

 - 高精度雙軸 PSD 接收器,分辨率達 0.1μm。

一鍵調光,改變傳統調光方式,提高測量效率,一次可將兩端偏差調整到微米級。

長距離調光工具,微調分度值 0.5μm。

自動測量單元 AMU80,測量距離 0.03m - 80m,精度 ±(1mm + 0.05% D),輸出頻率最高 20Hz。

棱鏡 VP5 - 20,精度 90°±1″,可 3 個方向調節,適用于大跨距平行度與垂直度測量。

性能指標:系統誤差(MPE)為 ±(1%?L + 1μm),分辨率最高 0.1μm,棱鏡垂直偏差 ±1″,測量范圍 10mm×10mm(雙軸),最大測量距離 0 - 50m。


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