microchem光刻膠 SU-8 2000 性環(huán)氧負(fù)性光刻膠
microchem 光刻膠SU-8 2000系列性環(huán)氧負(fù)性光刻膠:SU-8 2025,SU-8 2035,SU-8 2050,SU-8 2075，SU-8 2000是一種高對(duì)比度的環(huán)氧樹脂基光刻膠，適用于微加工和其他微電子應(yīng)用領(lǐng)域，需要厚、化學(xué)和熱穩(wěn)定的圖像。SU-8 2000是SU-8的改進(jìn)配方，多年來(lái)被MEMS生產(chǎn)廠家廣泛使用。采用更快的干燥速度，更極性的溶劑體系，可改善涂層質(zhì)量，提高工藝吞吐量。SU-8 2000有12種標(biāo)準(zhǔn)粘度可供選擇。薄膜厚度0.5到>200微米,可以通過(guò)一個(gè)單一的涂層工藝實(shí)現(xiàn)。暴露的和隨后的熱交聯(lián)部分的薄膜是不溶性的液體顯影液。SU-8 2000具有良好的成像特性，能夠產(chǎn)生非常高的展弦比結(jié)構(gòu)。SU-8 2000在360納米以上具有非常高的光學(xué)傳輸能力，這使得它非常適合在非常厚的薄膜中近垂直側(cè)壁成像。SU-8 2000應(yīng)用，它是成像，固化和留在設(shè)備上。