BLS-I/BCT-400少子壽命測試儀

●非接觸方式量測真正意義上的硅塊少子壽命

●渦電流法量測技術符合SEMI的PV13標準

●相比業界其他少子壽命測試儀BLS-I/BCT系列是性能更*的少子壽命測試儀

●Wafer廠品質監控必*量測設備，擁有廣泛的客戶群。

一、 產品概述

BLS-I/BCT-400型號少子壽命測試儀可以量測P型或者N型單晶或者多晶硅塊少子壽命，不需要表面鈍化處理就可以量測少子壽命。少子壽命的量測對于監控硅塊在長晶過程引入的缺陷或者污染物造成的缺陷有著重要的意義。通過使用少子壽命測試儀BCT-400可以直接判斷硅塊的質量好壞。BLS-I可以量測表面不平的硅塊樣品。而不同于BLS-I，BCT-400只能量測表面平坦的硅塊。

二、 產品性能

主要應用：

? 量測高純度硅少子壽命（范圍在1ms-5ms）

? 量測摻硼的CZ 單晶硅少子壽命

? 量測多晶硅的少子壽命，陷阱濃度等

其他應用：

? 量測B-O缺陷，鐵雜質濃度，以及表面的損傷

? 監控CZ和FZ單晶，多晶硅等硅片質量