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產(chǎn)品簡介
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng)，最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度，加熱區(qū)間可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
詳細介紹
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)介紹：
(1)、表面溫度高可達1420℃
(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、電阻均衡、溫場均衡性好
OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用日本技術(shù)成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱，溫場更加均衡
1.為了增加抽氣速率，達到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）
2.如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.
3.轉(zhuǎn)動電機功率:40W
4.電動推桿功率:40W
5.爐子傾斜角度:-10~30度
6.爐管轉(zhuǎn)動速率:采用無級變速電機轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)
7.轉(zhuǎn)動密封方式:采用轉(zhuǎn)動磁流體密封
8.四周表面溫度:≤45℃