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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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光學狹縫(NRA)配備四個獨立控制的葉片,彼此呈矩形,壓電控制葉片移動,實現(xiàn)對矩形開口尺寸和位置進行精準定位。該產(chǎn)品提供大氣、高真空和超高真空版本。
NRA-10-10
概觀 | |
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最大開口尺寸[mm] | 10x10 |
外形尺寸[mm] | 63 x 63 x 19 |
重量[g] | 160 |
定位性能 | |
閉環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
閉環(huán)定位分辨率[nm] | <2 |
單向重復定位精度[nm] | ±50 |
選配 | |
材質(zhì) | 標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
* 所有技術(shù)規(guī)格參數(shù)均為近似值,由于產(chǎn)品持續(xù)研發(fā),我們保留更改技術(shù)規(guī)格的權(quán)利,恕不另行通知。
NRA-20-20
NRA-20-20 四個獨立控制的葉片,彼此呈矩形,通過移動每個葉片可精確控制矩形孔徑的大小和位置,范圍0-20mm。
概觀 | |
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最大開口尺寸[mm] | 20x20 |
外形尺寸[mm] | 85 x 85 x 19 |
重量[g] | 270 |
定位性能 | |
閉環(huán)最大速度[mm/s] | >5 |
閉環(huán)定位分辨率[nm] | <2 |
單向重復定位精度[nm] | ±50 |
選配 | |
材質(zhì) | 標配為鋁底座;可選配鋼座(-ST)、鈦基(-TI);均黑色陽極氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
無磁 | 可根據(jù)要求定制 |