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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,綜合 |
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀
•實時、多組分監(jiān)控所有大宗電子氣中的關(guān)鍵雜質(zhì)包括痕量
O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, NH3, Xe等
•久經(jīng)考驗、性能強大的質(zhì)譜技術(shù)
•通過配置的雙離子源，覆蓋從PPT到100的分析量程范圍。
•通過集成可視化的用戶界面實現(xiàn)自動標定功能，操作非常簡單。
•專業(yè)的客戶服務(wù)和應(yīng)用支持團隊
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀產(chǎn)品描述
•可靠的超純氣體生產(chǎn)和供應(yīng)
•一臺分析儀分析所有雜質(zhì)
•全自動，實時雜質(zhì)報警功能
•可靠的24/7工藝保護
•晶圓產(chǎn)能
VeraSpec APIMS不僅分析速度快、靈敏度高，而且操作簡單，可用于連續(xù)監(jiān)控氮氣、氬氣、氦氣、氧氣和氫氣的供應(yīng)需求。通過對ppt級別雜質(zhì)的快速響應(yīng)大程度保護電子制造工藝。
擁有Extrel VeraSpec APIMS，保護您的半導體生產(chǎn)
超純氣對半導體設(shè)備生產(chǎn)非常重要。通過對超純氣純度的連續(xù)監(jiān)測可以確保半導體設(shè)備的產(chǎn)能。其被雜質(zhì)污染后的代價是非常昂貴的。
半導體工廠需要連續(xù)實時監(jiān)測工藝氣的純度，雜質(zhì)的檢測限至低ppt級別。
要達到如此低的檢測下限，方式就是應(yīng)用大氣壓離子質(zhì)譜儀。在20多年里，APIMS已經(jīng)被應(yīng)用在科學研究和檢測工業(yè)在線微量氣體的標準技術(shù)。
基于四極桿技術(shù)的Extrel VeraSpec APIMS系統(tǒng)能檢測的氣體含量和氣體組分范圍非常寬泛。同時儀器的長期穩(wěn)定性、重復性是大多數(shù)應(yīng)用所必須要求的。
為了追求優(yōu)的性能、穩(wěn)定性和運行時間，在半導體氣體分析領(lǐng)域，Extrel 是運用19mmTri-filter四極濾質(zhì)器的質(zhì)譜儀生產(chǎn)商。
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