高技術生產工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數無害氣體相匹配，它可以應用于多種活性氣體監測。HPGP-101-C會在影響產量之前，加快工藝氣體分配系統的資格確認，監測氣體中的粒子。HPGP與粒子數據系統、以太網(pds-e)配對，收集并報告由探測器捕獲的數據。

特點

• 安全保護殼

• 氧氣與氫氣兼容性

•  0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm

• 8個粒子通道

• 管道壓力從40到150psig

• 被動式激光源

• 并行處理陣列檢測器系統

優點

• 核實粒子質量

• 檢測工藝異常

• 量化系統更改的影響

• 提供精確粒徑

• 使用 Facility Net軟件來進行全面的數據存儲、管理、報告和警報

• 被動式激光源設計只需極少的維護

• 凈化的惰性氣體確保安全

• 樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源

應用

• 氣體分布系統的資格確認

• 工藝氣體監測

• 活性氣體監測