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VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
  • VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)
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貨物所在地:遼寧沈陽(yáng)市

更新時(shí)間:2025-05-06 12:36:36

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VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空,使樣品在*真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用。

產(chǎn)品VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機(jī)可以對(duì)涂膜機(jī)腔室進(jìn)行抽真空,使樣品在*真空的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用。簡(jiǎn)介:VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過(guò)多浪費(fèi),節(jié)約材料。VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

 

產(chǎn)品名稱

VTC-200PV真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200PV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段

2真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便

3、真空度可以達(dá)到-0.08MPa

4、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置以減少偏心造成震動(dòng)飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,更換方便簡(jiǎn)單。

6、電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,可以保證涂厚度的*性和均勻性。

7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛下圖層

9、可在真空狀態(tài)下圖層,在此狀態(tài)下圖層,需要粘接基片或夾持基片方可實(shí)現(xiàn)

技術(shù)參數(shù)

1功率:350W

2、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm

3時(shí)間:1s-60s

4、腔體真空度可達(dá)1Torr(VRD-16機(jī)械泵連續(xù)工作)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:Ø250mm×290mm;重量:25kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤

1個(gè)

2

夾持吸盤

1個(gè)

3

無(wú)油真空泵

1臺(tái)

可選配件

VRD-16機(jī)械泵

 

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