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產品型號

  OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發鍍膜（CSS）爐

主要特點

  1、為了減小熱輻射和達到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機構上。

  2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。

  3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發料。

  4、真空法蘭通過兩個硅膠O型圈進行密封，通過機械泵其腔內真空度可達10^-2torr，通過分子泵真空度可達10^-5

        torr。

  5、兩個真空法蘭都可以通過手動操作進行上下移動。

  6、一個數字式真空顯示計安裝在法蘭頂部，可以精確測量腔內真空度。

技術參數

  1、電源：單相AC208-240V（需20A的空氣開關）

  2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內徑275mm，高229mm

  3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W

  4、熱電偶：S型熱電偶2個，分別安裝于上下法蘭上

  5、工作溫度：兩個加熱區域單獨工作的zui高溫度≤650℃，兩加熱區域zui大溫差≤350℃

  6、加熱速率：>8℃/s

  7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃）

  8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個KF-25接口、2個1/4″軟管接頭

  9、真空計：數字式真空顯示計

可選配件

  1、PC控溫軟件

  2、兩路混氣系統

  3、多路浮子混氣系統

  4、多路質子混氣系統

  5、真空泵

  6、水冷機