PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率為3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。體積小，占用的空間少，可有效節約實驗室空間。配有一個雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關，可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
3、設有一個三通閥，可精確控制進氣流量，以及大氣流清洗腔體，進氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。