產品型號

　精密液體氣相發生器

主要特點

   1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

   2、采用30段程序化控溫。

   3、氣體流速通過浮子流量計控制。

   4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。

   5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。

   6、可與本司所有管式爐和CVD系統相連接。

   7、已通過CE認證。

技術參數

   1、電源：單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率：1000W

   3、蠕動泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調）

   4、zui高工作溫度：300℃

   5、控溫精度：±1℃

   6、浮子流量計：0-2000ml/min（可調）

   7、出氣口：外徑1/4″

產品規格

　尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg

  加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）